Soluție de depunere cu peliculă subțire de-înaltă precizie, ultra-pentru medii sigilate-vid

Soluție de depunere cu peliculă subțire de-înaltă precizie, ultra-pentru medii sigilate-vid

 

În domeniile de-producție de înaltă calitate, cum ar fi depunerea de peliculă subțire a semiconductoarelor, acoperirea optică de precizie și noile acoperiri funcționale energetice, procesele tradiționale de pulverizare care funcționează în condiții atmosferice nu pot satisface cerințele de pregătire a peliculei subțiri de înaltă-precizie și-purățenie. Tehnologia de pulverizare cu ultrasunete cu flanșă de vid de 60 kHz, bazându-se pe principiul atomizării ultrasonice de-înaltă frecvență și cuplată cu un sistem de alimentare cu pompă de injecție proiectat-personalizat, realizează o pulverizare stabilă și precisă într-un mediu complet etanșat cu vid-, evitând complet interferențele atmosferice. Aceasta a devenit o soluție de bază de proces pentru prepararea filmului subțire în vid și procesarea de micro/nano acoperire, potrivită pentru diverse producții integrate și scenarii experimentale de cercetare și dezvoltare în camerele de vid.

 

I. Principiul principal al tehnologiei: Mecanism de atomizare cu ultrasunete adaptiv-de înaltă-frecvență

60 kHz este banda preferată de-frecvență înaltă pentru pulverizarea cu atomizare de precizie industrială. În comparație cu pulverizarea cu ultrasunete de joasă-frecvență la 20 kHz și 40 kHz, această bandă oferă frecvențe de vibrații mai mari și o precizie mai puternică de atomizare. Prin vibrații mecanice de-înaltă frecvență, acoperirile lichide, soluțiile precursoare, suspensiile funcționale și alte medii pot fi rupte în picături ultrafine de dimensiuni uniforme de dimensiuni microni-. Dimensiunea picăturilor concentrate și dispersia scăzută pun bazele formării uniforme a peliculei. Spre deosebire de echipamentele convenționale de pulverizare cu ultrasunete de tip deschis, această tehnologie folosește o structură etanșă cu flanșă de vid, abandonând modul tradițional de atomizare a gazului purtător de aer comprimat. Fără gaz purtător implicat pe tot parcursul procesului, evită în mod fundamental perturbarea fluxului de aer în mediul camerei cu vid, adaptându-se perfect la condițiile de etanșare-vid.

 

Duza centrală a echipamentului se conectează perfect la camera de vid printr-o flanșă de vid standard. Arhitectura generală etanșă este adaptabilă la condiții de vid variind de la 13 Pa la 133 Pa. Chiar și în condiții de presiune negativă în interiorul camerei, menține vibrații stabile de-frecvență înaltă, fără scurgeri, atenuare a atomizării sau dezechilibru de presiune. Într-un mediu de vid, picăturile ultrafine nu sunt afectate de rezistența aerului și de oxidare, depunându-se uniform și constant pe suprafața substratului. Capacitatea de răspândire a picăturilor este îmbunătățită semnificativ, formând o acoperire funcțională densă, uniformă, fără găuri-folosite, ultra-, rezolvând problemele industriale de dispersie a picăturilor, aglomerare prin oxidare și grosimea neuniformă a peliculei întâlnite în pulverizarea atmosferică.

 

II. Avantajele de bază ale sistemului: Capacități de pulverizare de precizie adaptate la condițiile de vid

1. Adaptabilitate completă la vid, curățenie extrem de ridicată a procesului
Întregul sistem adoptă un design integrat cu flanșă-etanșat, fără structură externă de admisie a aerului, ceea ce îl face pe deplin adaptabil la mediul de lucru etanș al unei camere de vid. Poate finaliza întregul proces de pulverizare în condiții de vid înalt. Într-un mediu cu vid, nu există interferențe din partea oxigenului, prafului sau vaporilor de apă, rezultând acoperiri fără impurități de oxidare și reziduuri de particule, îmbunătățind considerabil puritatea și stabilitatea filmelor funcționale. Acest lucru se potrivește perfect scenariilor de producție cu cerințe ridicate de curățenie, cum ar fi semiconductori, optică de precizie și biomedicină. Simultan, echipamentul este compatibil cu diferite camere de vid standard, acceptă integrarea modulară, este ușor de instalat și are o compatibilitate puternică, permițând conectarea directă la procesele din aval, cum ar fi depunerea în vid și recoacere în vid.

 

2. Precizie excelentă de atomizare, uniformitate remarcabilă a acoperirii
Atomizarea ultrasonică de înaltă frecvență de 60 kHz- posedă o stabilitate de atomizare extrem de puternică, generând picături ultrafine cu dimensiunea uniformă a particulelor și consistență ridicată. Combinat cu o pompă de injecție personalizată pentru alimentare cu lichid cu precizie-cu debit constant, evită complet anomaliile de atomizare cauzate de fluctuațiile de alimentare cu lichid. Acoperirea finală atinge o uniformitate care depășește 95%, cu grosimea filmului controlată cu precizie la nivel de nanometru până la micrometru. Învelișul este dens, neted și fără coajă de portocală și găuri. În comparație cu procesele tradiționale de pulverizare și acoperire prin centrifugare, calitatea și consistența filmului sunt îmbunătățite semnificativ, făcându-l deosebit de potrivit pentru acoperiri funcționale ultra{-subțiri și aplicații precise de pulverizare pe micro-zone.

 

3. Adaptabilitate largă a mediilor și control puternic al procesului: Utilizând caracteristicile de atomizare de-frecvență înaltă de 60kHz și un sistem de debit reglabil-personalizat cu o pompă cu seringă, echipamentul este adaptabil la diferite medii lichide, inclusiv soluții apoase, soluții de alcoxid, cerneluri conductoare, fotoreziste și soluții polimerice. Pulverizarea cu atomizare stabilă poate fi realizată atât cu urme de reactivi cu-vâscozitate scăzută, cât și cu șlamuri funcționale cu-vâscozitate medie. Sistemul acceptă gestionarea inteligentă a formulei prin intermediul unui ecran tactil, stocând mai multe seturi de parametri ai procesului de pulverizare. Începerea cu un-clic a procesului de pulverizare permite un control precis al traseului de pulverizare, al vitezei de alimentare cu lichid, al puterii de atomizare și al parametrilor de vid. Procesul prezintă o repetabilitate extrem de ridicată, făcându-l potrivit atât pentru producția de masă, cât și pentru aplicațiile de cercetare de laborator.

 

4. Pierdere extrem de scăzută, eficientă energetic
Pulverizarea prin pulverizare cu ultrasunete se bazează pe vibrații de-frecvență înaltă pentru a obține o atomizare fără presiune. În combinație cu o pompă de injecție precisă pentru alimentarea cu lichid, rata de utilizare a stratului de acoperire este mult mai mare decât pulverizarea pneumatică tradițională, practic fără împrăștiere de picături sau deșeuri, ceea ce duce la pierderi de material extrem de scăzute. În același timp, echipamentul se mândrește cu un consum general scăzut de energie și o funcționare stabilă. Modul de funcționare sigilat cu vid-elimină necesitatea proceselor ulterioare de îndepărtare a prafului și impurităților, simplificând procesul de producție, îmbunătățind semnificativ eficiența procesului și reducând costurile de producție și cercetare și dezvoltare.

 

III. Scenarii de aplicație de bază
Folosindu-și avantajele de bază ale etanșării în vid, precizie înaltă, curățenie ridicată și controlabilitate puternică, sistemul integrat de pulverizare cu ultrasunete cu flanșă de vid de 60 kHz + pompă de injecție personalizată este utilizat pe scară largă în domeniile de producție de precizie înalt-. În noua industrie energetică, poate fi utilizat pentru pulverizarea stratului de catalizator al celulei de combustie, depunerea stratului funcțional al celulelor solare cu peliculă subțire și prepararea stratului funcțional al separatorului bateriei cu litiu; în industria semiconductoarelor și a electronicii, este potrivit pentru acoperirea micro-chipului, acoperirea izolatoare la umiditate-a plăcii de circuite și procesele de acoperire transparentă a componentelor optoelectronice; în domeniul opticii de precizie, poate pregăti filme optice anti-reflectorizante, filme anti{-reflexive și filme rezistente la uzură-de protecție; în domeniul biomedical, este potrivit pentru scenarii de{10}}înaltă precizie, cum ar fi acoperirea funcțională a cipului microfluidic și prepararea filmului cu biosenzor.

 

IV. Rezumat tehnic Tehnologia de pulverizare prin pulverizare cu ultrasunete cu flanșă de vid de 60 kHz, combinată cu avantajele de furnizare precisă a lichidului ale unei pompe de injecție de vid-personalizate, depășește blocajele de aplicare ale proceselor tradiționale de pulverizare în medii cu vid, realizând un proces de pulverizare de precizie, caracterizat prin etanșare în vid, linii de curățare de înaltă precizie, precizie și pierderi mari. Acest sistem integrat elimină dependența de gazul purtător, este sigilat pentru a se adapta la condițiile de vid și oferă control precis atât asupra atomizării, cât și asupra alimentării cu lichid. Îndeplinește perfect cerințele procesului de preparare a peliculei subțiri de vârf și acoperiri de micro/nano precizie, umplând golul tehnologic în pulverizarea cu atomizare fină în condiții de vid. Este o soluție de bază indispensabilă a echipamentelor de proces în domeniile producției de precizie-de ultimă generație și cercetării și dezvoltării de noi materiale, iar limitele aplicațiilor sale vor continua să se extindă în industriile de-finale, cum ar fi semiconductori, energie nouă și optică de precizie în viitor.