RPS-SONIC: Un punct de referință pentru industrializarea pulverizării prin atomizare cu ultrasunete a filmelor subțiri TCO

În valul de industrializare a tehnologiei de preparare a peliculei conductoare transparente TCO, RPS-SONIC, cu cercetarea și dezvoltarea tehnologică țintită și proiectarea bazată pe scenarii-, a făcut din echipamentul său de pulverizare prin pulverizare cu ultrasunete o alegere de bază pentru echipamente fotovoltaice, afișaje și construcții. Nu numai că îndeplinește cerințele de bază ale industriei pentru „transmitanță ridicată a luminii, rezistență scăzută a foii și eficiență ecologică”, dar promovează și tranziția pregătirii filmului subțire TCO de la laborator la producția la scară largă-prin control precis al parametrilor și funcționare stabilă.

Echipamentul de pulverizare prin pulverizare cu ultrasunete RPS-SONIC, bazat pe tehnologia de atomizare cu vibrații de-înaltă frecvență, a format o matrice diferențiată de produse pentru nevoile de pregătire a filmului subțire TCO, cu caracteristicile tehnologice de bază arătând o adaptabilitate deosebit de remarcabilă la prepararea TCO. Echipamentul adoptă în principal două scheme de-vibrații de înaltă frecvență: 40kHz și 60kHz. Printre acestea, duza de atomizare cu ultrasunete focalizată de 40 kHz, printr-un design special al canalului de curgere de constricție, poate face ca gazul purtător să adune și să atomizeze uniform soluția de precursor TCO (cum ar fi ITO, AZO, FTO sol) în picături uniforme de 15-40μm. Eroarea de uniformitate a distribuției picăturilor este controlată cu ±3%, ceea ce se potrivește perfect cu cerințele precise de grosime ale filmelor TCO de 10 nm-500nm. Pentru soluțiile precursoare de TCO cu vâscozitate scăzută (0 cps), echipamentul realizează un control precis al debitului de 0,5-20 ml/min. Combinat cu o înălțime de pulverizare reglabilă de 30-80 mm și un design de ghidare a fluxului de joasă presiune de 0,5 MPa, evită problemele de stropire a picăturilor din pulverizarea tradițională sub presiune, asigurând în același timp depunerea densă a picăturilor pe suprafața substratului. Acest lucru are ca rezultat fluctuațiile TCO ale rezistenței foliei de film controlate cu ±5% și transmisia luminii vizibile stabilizată la 85%-95%, îndeplinind pe deplin cerințele de performanță ale aplicațiilor de ultimă generație, cum ar fi celulele fotovoltaice și afișajele flexibile.

Bazându-se pe avantajele de bază ale preparării filmului TCO, RPS-SONIC amplifică și mai mult valoarea industrială a tehnologiei de atomizare cu ultrasunete. În primul rând, echipamentul are avantaje semnificative în utilizarea materialelor și controlul costurilor. Prin „atomizare fără presiune” și proiectare de pulverizare concentrată, rata de utilizare a soluției precursoare TCO ajunge până la 90%, economisind peste 80% din consumul de material în comparație cu procesele tradiționale de pulverizare cu magnetron. Acest lucru este deosebit de benefic în prepararea filmelor subțiri ITO, unde resursele de indiu sunt limitate, deoarece reduce semnificativ pierderile de metale prețioase, reducând astfel costurile de producție pentru întreprinderi. În al doilea rând, prezintă o compatibilitate extrem de puternică cu substratul. Echipamentul utilizează energie cinetică a picăturilor foarte scăzută în timpul atomizării, reprezentând un proces tipic de preparare la temperatură joasă-. Acest lucru îl face potrivit nu numai pentru substraturi rigide, cum ar fi plăcile de sticlă și siliciu, ci și pentru substraturi flexibile, cum ar fi PET și PI. Acest lucru rezolvă punctele dureroase ale proceselor tradiționale în pregătirea filmului subțire TCO flexibil, care duc cu ușurință la deformarea substratului și degradarea performanței, oferind o soluție fiabilă pentru producția de film subțire TCO în domenii precum afișajele OLED flexibile și dispozitivele portabile. În al treilea rând, combină scalabilitatea și stabilitatea. Echipamentul acceptă matrice multi-duze, cu o singură lățime de pulverizare de 1-3 metri. Combinat cu un design de putere reglabilă de 10-100 W, poate satisface nevoile de cercetare și dezvoltare în-loturi mici în laboratoare, precum și producția la scară largă de dispozitive de dimensiuni mari, cum ar fi modulele fotovoltaice și sticla arhitecturală. În plus, echipamentul nu are piese în mișcare care suferă de uzură, iar duzele sunt mai puțin predispuse la înfundare, reducând timpul de oprire a producției și asigurând stabilitatea producției continue.

În ceea ce privește aplicația în industrie, echipamentul de pulverizare prin pulverizare cu ultrasunete RPS-SONIC a stabilit mai multe cazuri de referință în domeniul pregătirii filmului subțire TCO. În industria fotovoltaică, echipamentul său este utilizat pentru pulverizarea stratului conductor transparent AZO/TCO al celulelor solare perovskite. Prin controlul precis al dimensiunii picăturilor și al ratei de depunere, eficiența conversiei fotoelectrice a celulelor este îmbunătățită cu 2-3 puncte procentuale. În prezent, a intrat în linia pilot de celule tandem cu heterojuncție de siliciu de nivel 1GW-perovskit- a unei companii fotovoltaice autohtone lider, ajutând la realizarea producției de masă la scară largă. În domeniul afișajului, pentru prepararea filmelor compozite ITO/PET pentru ecrane OLED flexibile, echipamentul poate asigura în continuare că rata de schimbare a rezistenței foliei a filmului TCO este mai mică de 10% și transmisia luminii rămâne peste 92% pe un substrat flexibil cu o rază de îndoire de 5mm.

Acest lucru ajută producătorii din aval să îmbunătățească randamentul ecranelor flexibile de la 75% cu procese tradiționale la 88%, devenind un suport de bază pentru echipamente pentru lanțul industriei de afișare flexibilă. În domeniul sticlei inteligente arhitecturale, echipamentul este utilizat pentru pulverizarea foliilor conductoare transparente AZO pentru sticlă electrocromă, realizând un control al erorii de grosime de ±2nm. Acest lucru are ca rezultat o viteză de răspuns electrocromic mai mică sau egală cu 10 secunde și o durată de viață de peste 100.000 de cicluri. În același timp, transmisia ridicată a luminii și rezistența la coroziune a foliei asigură funcționarea stabilă-pe termen lung a sticlei inteligente și a fost aplicată la producția de ferestre inteligente în multe proiecte de-construcții de înaltă calitate în țară și în străinătate. În plus, echipamentul Hangzhou Gonglu se mândrește cu o versatilitate excepțională, permițând nu numai prepararea generală a peliculei subțiri TCO, ci și pulverizarea compozită a peliculelor funcționale, cum ar fi acoperirile anti-ceata și anticoroziunea cu straturi TCO. De exemplu, poate pulveriza simultan un strat conductiv transparent FTO și o acoperire anti-incrustare pe suprafața sticlei fotovoltaice, îmbunătățind și mai mult performanța generală a dispozitivului. În viitor, odată cu promovarea materialelor TCO-fără indiu (cum ar fi AZO și GZO) și integrarea tehnologiei de inspecție vizuală AI, echipamentul Hangzhou Gonglu este de așteptat să atingă obiective de performanță și mai ridicate, inclusiv o transmisie a luminii care depășește 98% și o rezistență a foii sub 5Ω/□, conducând continuu la ecologizarea și rafinarea tehnologiei de preparare a filmului TCO.

Fiind un etalon industrial în domeniul pulverizării prin pulverizare cu ultrasunete, echipamentele RPS-SONIC, cu controlul precis al parametrilor, funcționarea stabilă și adaptabilitatea largă la aplicații, oferă suport de bază pentru producția la scară largă, de înaltă-calitate, a foliilor conductoare transparente TCO. Soluțiile sale tehnice nu numai că răspund nevoilor actuale de dezvoltare ale industriei optoelectronice, dar vor juca, de asemenea, un rol crucial în inovarea tehnologică în domenii emergente, cum ar fi electronica flexibilă și energia nouă în viitor.